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事關(guān)芯片！我國成功開發(fā)這一新技術(shù)

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2025-03-28 10:51:33 字號：A- A A+ 來源：觀察者網(wǎng)

最后更新: 2025-03-28 15:16:24

據(jù)微信公眾號“西湖儀器”消息，近日，由西湖大學孵化的西湖儀器（杭州）技術(shù)有限公司成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術(shù)，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。

與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙、更高的熔點、更高的電子遷移率以及更高的熱導率，能夠在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導體產(chǎn)業(yè)升級的關(guān)鍵材料，推動電動汽車、光伏發(fā)電、智能電網(wǎng)、無線通信等領(lǐng)域的技術(shù)革命。

但襯底材料成本占據(jù)整體成本的比例依然居高不下，嚴重阻礙了碳化硅器件大規(guī)模的產(chǎn)業(yè)化推廣。降本增效的重要途徑之一是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸襯底材料能夠進一步擴大單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，顯著提升產(chǎn)量，降低單位成本。

2024年12月，國內(nèi)碳化硅頭部企業(yè)已披露了最新一代12英寸碳化硅襯底，在引領(lǐng)國際發(fā)展趨勢的同時，也提出了12英寸以上的超大尺寸碳化硅襯底切片需求。與之相應，西湖儀器以最快速度推出了“超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)”，率先解決了12英寸及更大尺寸的碳化硅襯底“切片”難題。

“該技術(shù)實現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動化?！蔽骱髮W工學院講席教授仇旻介紹，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，激光剝離過程無材料損耗，原料損耗大幅下降。新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時間，適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?；慨a(chǎn)，進一步促進行業(yè)降本增效。

（綜合自西湖儀器、科技日報等）

本文系觀察者網(wǎng)獨家稿件，未經(jīng)授權(quán)，不得轉(zhuǎn)載。
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